Construcción y uso de un sistema PECVD para el crecimiento y posterior caracterización de películas de Si nanoestructurado

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dc.contributorValdez Luna, José Luis
dc.contributorCruz Galeana, A. Benjamín
dc.contributorOyoqui Arellano, Abraham
dc.contributorPonce Pedraza, Arturo
dc.contributorSantana Torrellas, Gustavo A.
dc.contributorJosé Luis Valdez Luna
dc.contributorA. Benjamín Cruz Galeana
dc.contributorAbraham Oyoqui arellano
dc.contributorArturo Ponce Pedraza
dc.contributorGustavo A. Santana Torrellas
dc.creatorYah-in Pliego Osorio
dc.creatorYAH-IN PLIEGO OSORIOes
dc.date.accessioned2018-05-10T14:47:15Z
dc.date.available2018-05-10T14:47:15Z
dc.date.issued2007
dc.descriptionConstrucción de una cámara PECVD para el crecimiento y posterior caracterización de películas delgadas polimorfas nanoestructuradas de silicio con diferente resistividad y tipo de conductividad así como el estudio básico de sus propiedades electrónicas, electroquímicas y ópticas
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11285/629539
dc.languagespa
dc.publisherInstituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Monterrey
dc.relationInvestigadores
dc.relationEstudiantes
dc.relation.isFormatOfversión publicada
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0*
dc.subjectPelículas delgadas
dc.subjectNanoestructuras
dc.subject.classification7 INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.titleConstrucción y uso de un sistema PECVD para el crecimiento y posterior caracterización de películas de Si nanoestructurado
dc.typeTesis de licenciatura
refterms.dateFOA2018-05-10T14:47:15Z
thesis.degree.disciplineDepartamento de Mecatrónica
thesis.degree.levelIngeniería en Mecatrónica
thesis.degree.programCampus Ciudad de México

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