Diseño y Construcción de una Sonda de Langmuir para Caracterizar un Plasma Débilmente Ionizado en un Reactor de Depósito Físico de Vapores

Abstract

Con el propósito de caracterizar un plasma débilmente ionizado, de corriente directa, en una instalación para el depósito físico de vapores, se diseñó y construyó una sonda de Langmuir. Con base en un diseño experimental, por medio de la sonda de Langmuir, se midió la densidad iónica y la temperatura electrónica en distintas posiciones del reactor, las cuales se referenciaron desde el centro del magnetrón hasta la periferia, y desde una altura de 1.5 cm hasta 2.0 cm, para valores de potencia de: 8 W y 30 W y para presiones de: 0.5 Pa y 3.0 Pa en un plasma de Argón. El dominio de variación de las temperaturas electrónicas fue de 6.19 eV a 3.49 eV y la densidad iónica fue de 59.15 a 38.04 mA. cm2 Con base en el código de pulverización de un blanco, SRIM, se asoció al efecto de las variables del plasma con la pulverización del blanco. Se presenta la variación cualitativa de estas variables, en ese contexto se observa una tendencia en donde la pulverización aumenta a medida que aumenta la energía iónica.