Valdez Luna, José LuisCruz Galeana, A. BenjamínOyoqui Arellano, AbrahamPonce Pedraza, ArturoSantana Torrellas, Gustavo A.José Luis Valdez LunaA. Benjamín Cruz GaleanaAbraham Oyoqui arellanoArturo Ponce PedrazaGustavo A. Santana Torrellas2018-05-102018-05-102007http://hdl.handle.net/11285/629539Construcción de una cámara PECVD para el crecimiento y posterior caracterización de películas delgadas polimorfas nanoestructuradas de silicio con diferente resistividad y tipo de conductividad así como el estudio básico de sus propiedades electrónicas, electroquímicas y ópticasinfo:eu-repo/semantics/openAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0Películas delgadasNanoestructuras7 INGENIERÍA Y TECNOLOGÍAConstrucción y uso de un sistema PECVD para el crecimiento y posterior caracterización de películas de Si nanoestructuradoTesis de licenciatura