Caracterización de un prototipo experimental para el depósito físico de vapores y síntesis de películas delgadas de AIN

Oseguera Peña, Joaquín EstebanJoaquín Esteban Oseguera PeñaAcosta Flores, Jorge Alberto2018-05-072018-05-072007http://hdl.handle.net/11285/628631TextospaopenAccesshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0Materiales--Fabricación--Películas AININGENIERÍA Y TECNOLOGÍA; CIENCIAS TECNOLÓGICAS; TECNOLOGÍA DE MATERIALES; MATERIALES METALOCERÁMICOS (CERMETS)Tecnología / TechnologyTheory and practice of education--Higher education—Preparation of thesesCaracterización de un prototipo experimental para el depósito físico de vapores y síntesis de películas delgadas de AINTesis de doctorado